KM-700D
分類: 射頻匹配器  發布時間: 2017-11-14 
KM-700D

詳細介紹

KM-500D匹配器是一款手動匹配器,可以應用於任何射頻功率發生器。可用於真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積,化學氣象沉積,磁控濺射,以及太陽能製造設備PECVD等設備當中,。可選的射頻係統檢測模塊可實時檢測出係統的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等,從而使您能夠發現並顯著降低製程變化性。

優勢

●性能安全可靠,長時間工作穩定
●實時反射功率測量與控製
●優化設計、安裝、使用與維修十分簡便
●傳輸效率高,運行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控製盒,與其他射頻功率發生器配合使用

特點

●加強了鍍膜與刻蝕工藝的控製
●最大限度地減少駐波比與反射功率
●嚴格的可靠性測試

使用參數:

匹配功率範圍

0-500W

工作頻率:

13.56MHZ

正常工作反射功率

<3W

匹配時間

<3S

傳輸效率

>90%

匹配器電源

AC220V/50-60HZ

輸入連接器

N型

輸出連接器

UHF

控製模式

手動

匹配阻抗範圍

實部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據負載調節阻抗)

匹配器尺寸

480X380X132MM

整機重量

5.5KG

 

點擊次數:1857  更新時間:2017-11-14  【打印此頁】  【關閉
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