KM-700D
分類: 射頻匹配器
發布時間: 2017-11-14
詳細介紹
KM-500D匹配器是一款手動匹配器,可以應用於任何射頻功率發生器。可用於真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積,化學氣象沉積,磁控濺射,以及太陽能製造設備PECVD等設備當中,。可選的射頻係統檢測模塊可實時檢測出係統的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等,從而使您能夠發現並顯著降低製程變化性。
優勢
●性能安全可靠,長時間工作穩定
●實時反射功率測量與控製
●優化設計、安裝、使用與維修十分簡便
●傳輸效率高,運行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控製盒,與其他射頻功率發生器配合使用
特點
●加強了鍍膜與刻蝕工藝的控製
●最大限度地減少駐波比與反射功率
●嚴格的可靠性測試
使用參數:
匹配功率範圍 | 0-500W |
工作頻率: | 13.56MHZ |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配時間 | <3S |
傳輸效率 | >90% |
匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
輸入連接器 | N型 |
輸出連接器 | UHF |
控製模式 | 手動 |
匹配阻抗範圍 | 實部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據負載調節阻抗) |
匹配器尺寸 | 480X380X132MM |
整機重量 | 5.5KG |
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